Dosbarthiad yn ôl dyddodiad anwedd cemegol
Mae yna lawer o ddulliau o ddyddodi anwedd cemegol, megis gwasgedd atmosfferig CVD (APCVD), CVD pwysedd isel (LPCVD), CVD gwactod ultrahigh (UHVCVD), anwedd cemegol laser Dyddodiad laser (LCVD), dyddodiad anwedd cemegol metel-organig (MOCVD) , dyddodiad anwedd cemegol wedi'i wella gan plasma (PECVD), ac ati.