Proses dyddodi anwedd cemegol
Rhennir y broses dyddodi anwedd cemegol yn dri cham pwysig: mae'r nwy adweithio yn tryledu i wyneb y swbstrad, yr nwy adweithio yn adsorbs ar wyneb y swbstrad, mae adwaith cemegol yn digwydd ar wyneb y swbstrad i ffurfio blaendal solet, ac mae sgil-gynhyrchion y cyfnod nwy yn datgysylltu o wyneb y swbstrad. Yr adweithiau dyddodi anwedd cemegol mwyaf cyffredin yw: adweithiau dadelfennu thermol, adweithiau synthesis cemegol, ac adweithiau cludo cemegol. Fel arfer mae TiC neu TiN yn cael ei ddyddodi trwy gyflwyno TiCl4, H2, CH4 a nwyon eraill i'r siambr adweithio yn 850 ~ 1100 ℃, a ffurfio cotio ar wyneb y swbstrad trwy adwaith cemegol.